美商TRANE加入SEMI高科技廠房設施委員會

2014年4月4日 ——SEMI首個針對高科技廠設施組成的委員會誕生！這也是臺灣首個由產業界針對高科技廠房設施自發性設立的委員會，並受到產業界熱烈支持。SEMI高科技廠房設施委員會未來將整合國內外高科技廠房設施相關資源，厚植臺灣高科技廠房設施產業之競爭力，透過產學合作增進關鍵技術之發展，促進產業技術標準。成為國內著重於高科技廠房設施關鍵技術之全球性卓越組織。

10月3日成立大會當天，來自晶圓代工、半導體製造設備供應商、半導體製造材料供應商、營建工程業及學術研究單位共45家、64位代表參與，也是SEMI台灣區委員會中之冠，皆同來慶祝高科技廠房設施委員會在台成立。SEMI高科技廠房設施委員會設主席、副主席、秘書長，並分成製程技術小組委員會、廠房技術小組委員會，以及技術發展小組委員會。會中由出席的45堅企業及學術機構、來自各界的委員會成員共同推舉出漢民科技總經理許金榮先生擔任委員會主席、台灣積體電路新廠工程處處長莊子壽先生、聯華電子廠務暨擴建工程處處長高慶揚先生、千附實業總經理賴智銘先生擔任副主席。

廠房設施對高科技產業之重要性
臺灣高科技產業的大幅發展，不僅提昇我國的國際競爭力，並帶動其他產業升級、促使整體經濟發展。而半導體之研發製造過程中，需有高性能的製作工具、精密的檢測儀器、穩定的平台、超純淨的水及公用設施，因此潔淨室等等之設計、建造、驗證、完成及轉移使用乃是關鍵因素。換言之，高科技廠房設施之技術直接影響製程良率及生產成本。
高科技廠房設施為製程中之關鍵技術之一，產業界以策略聯盟的方式合作，可以加速科技研發效能、提高生產力並且降低生產成本，並促進環保、節能及安全衛生，是加速提升產業整體競爭力的有效方法。除此之外，高科技廠房和實驗室等設施同樣為其他科技產業推進至新的層次之關鍵發展因素，其研發成果將移轉至其他業界。例如國際半導體及相關產業將於2016年完成10奈米及18吋(450mm)晶圓製程技術之測試，並預估大量生產將於2018年展開。而面板產業太陽能、OLED、光電產業也都不斷在尋找創新技術的突破。廠房設施的高效能及穩定度，將成為這些新技術之研發、製造、永續經營之關鍵因素。

高科技廠房設施 提升產業整體競爭力利器
SEMI高科技廠房設施委員會主席、漢民科技總經理許金榮表示，「當先進製程走向Ix奈米世代，技術挑戰越來越多，加上將用到更多新的設備、材料、化學品，如何提升製程良率並維護人身安全，在在都需要透過高科技廠房設施的配合。SEMI原就擁有全球半導體製造設備、材料供應商的豐富資源，加上臺灣本地廠房設施廠商的相輔相成，將有助提升我國高科技廠房設施水準，並進一步帶動設備及材料本土化的發展。」
國立臺灣大學土木工程系教授、高科技廠房設施研究中心主任張陸滿表示，「台灣做為全球電子業製造重鎮，多年來早已居全球高科技產業領導地位，如欲向上提升，亦需透過提高高科技廠房設施水準。此次SEMI高科技廠房設施委員會一方面由學術界挹注研發能量、透過SEMI擁有全球電子業製造設備及材料會員的資源，以及國內高科技及營造業領導廠商配合，共同發揮綜效，我們將可預見臺灣高科技產業表現更獨領風騷。」
SEMI高科技廠房設施委員會副主席、台積電新廠工程處處長莊子壽表示，「影響高科技廠房設施之關鍵因素包含電磁波干擾消除(EMI)、自動物料搬運系統(AMHS)、微振動(Micro Vibration)預防及消除、廠房設施資訊模擬(FIM-Facility Information Modeling)、汙染物偵測鑑定及消除、4D智慧排程及模擬等等。面對先進製程污染分子化，對於廠房設施條件要求只會越來越嚴格。如何達到環保節能、如何對抗颱風或地震等天然災害，未來希望透過委員會的運作，邀集廠商討論出明確準則，以期協助臺灣高科技產業持續向上提升。」

SEMI高科技廠房設施委員會副主席、聯華電子廠務暨擴建工程處處長高慶揚表示，「高科技廠房設施現在面臨許多的挑戰，很高興見到SEMI高科技廠房設施委員會的成立，透過這樣的平台可以提供非常好的機會讓廠商彼此更緊密地聯繫。」

SEMI台灣區總裁曹世綸表示，「由於廠房設施的設計建造，是半導體晶圓製造不可或缺的先決條件之一，為了從廠房設施的角度，協助臺灣半導體產業及相關產業提昇到18吋晶圓量產及10奈米製程，因此才促成這次SEMI高科技廠房設施委員會的成立。」根據全球各先進晶圓代工公司的規劃，未來3至5年內都將開始邁進18吋晶圓以及14奈米先進製程的量產，這種具前瞻性的大幅發展，不但將提升臺灣在國際間的競爭力，促使臺灣其他產業技術升級，增益臺灣地區總體經濟成長，同時，也將使臺灣擁有更卓越領先的國際科技地位，甚至成為許多國家仿效的基準楷模。藉由整合國內外高科技的相關資源，透過相互合作來促進廠房設施關鍵技術之提升，並增益廠房設施標準之擬定，也將SEMI使高科技廠房設施委員會成為著重於高科技廠房設施關鍵技術之全球性卓越組織！

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